晶硅电池隐裂检PECVD镀膜检测模块

主要用于硅片来料隐性裂纹等缺陷的检测

检测工位：
镀膜段

检测内容：
色差、色斑、亮斑、脏污、过刻、油污、卡点烧焦、划伤、崩边、缺角、针孔、尺寸、白斑、手指印等